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クォーツ リング、セラミック材料
半導体産業
クォーツ リング、セラミック材料
產品編號オーダーメイド、カスタマイズ可能

CVD、PVDおよび酸化・拡散プロセスにおいて、ホルダーなどの主要部品は欠かせない。

製品情報

装置技術の進化に伴い、当社は製品の耐熱性、純度、微粒子管理の向上に日々取り組み、より高い品質を追求している。

最先端の測定技術と確立された加工技術を駆使し、顧客の高い要求に応えている。

また、大口径製品の需要に応え、直径1,000mm超のホルダーやフランジを含む大口径石英ガラス材料を開発した。