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日本 アクア 現像用 コントローラー (リアルタイム)
日本AQUA コーナー
日本 アクア 現像用 コントローラー (リアルタイム)
產品編號日本 アクア 現像用 NAC-14000

ファインピッチ対応
リアルタイム制御
生産性向上
品質安定性向上

 

  • 生産性UP
  • 生産安定性UP
  • 品質安定性UP
  • リアルタイム表示

製品情報

高精度な現像液管理により
高微細基板が製造可能に

 

高細線化には現像工程が最重要です。

アクアアクセスコントローラーなら、FILM濃度±0.5g/Lの安定した現像液管理を実現。

高微細基板を製造可能にします。